JJF1946-2022《鹵素檢漏儀校準(zhǔn)規(guī)范》,規(guī)范條文解釋：本規(guī)范適用于可檢漏率為（1.0×10-6~1.0×10-4）Pa.m3/s的鹵素檢漏儀的校準(zhǔn)，其他制冷劑的檢漏儀也可以參考本規(guī)范執(zhí)行。解釋：與目前鹵素檢漏儀校準(zhǔn)用標(biāo)準(zhǔn)器（鹵素標(biāo)準(zhǔn)漏孔）的可溯源范圍相適應(yīng)，待發(fā)布的正壓漏孔校準(zhǔn)規(guī)范使用范圍（10-6~10-4）Pa.m3/s，與檢漏儀的實(shí)際測量范圍（1-10）g/a對應(yīng)。測量標(biāo)準(zhǔn)：測量標(biāo)準(zhǔn)為提供某種特定鹵素氣體的已知漏率的鹵素標(biāo)準(zhǔn)漏孔，如表所示，鹵素標(biāo)準(zhǔn)漏孔應(yīng)具有定位槽以便于檢漏儀定位。解釋：通常配備多個(gè)標(biāo)準(zhǔn)漏孔，一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)漏孔對應(yīng)一種示漏氣體，根據(jù)被校檢漏儀選擇相應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)漏孔。標(biāo)準(zhǔn)漏孔連接接口有多種規(guī)格可供不同場景選擇。北京通道型標(biāo)準(zhǔn)漏孔出口多大

氦質(zhì)譜檢漏儀的工作原理是對離子源電離的氦氣分子數(shù)量進(jìn)行量化，而到達(dá)質(zhì)譜室離子源的氦氣分子數(shù)量只是泄漏的分子總量的一部分，這就是分流比。在環(huán)境參數(shù)變化時(shí)，這個(gè)分流比會有變化，檢漏儀根據(jù)內(nèi)置漏孔1個(gè)點(diǎn)做出的擬合曲線很難做到符合全量程：例如一臺檢漏儀的內(nèi)置漏孔是E-7mbarL/s，說明這臺檢漏儀在接近E-7mbarL/s的漏率區(qū)間如[E-6,E-8]是可能準(zhǔn)確的，可能到E-9就很不準(zhǔn)確。建議用2個(gè)標(biāo)準(zhǔn)漏孔對氦質(zhì)譜檢漏儀進(jìn)行標(biāo)定。事實(shí)上，包括很多主流檢漏儀廠家Z初都是不提供內(nèi)置漏孔自檢的，而是用戶購置接近自己工件要求漏率的標(biāo)準(zhǔn)漏孔進(jìn)行標(biāo)定。如待測工件合格漏率要求為2.50x10-8mbar.L/s,Z好是購置一個(gè)接近該漏率的標(biāo)準(zhǔn)漏孔如3.00x10-8mbar.L/s，經(jīng)過校準(zhǔn)的檢漏儀不需要自檢通過也能準(zhǔn)確的判斷產(chǎn)品是否合格。建議用戶在選購?fù)庵脴?biāo)準(zhǔn)漏孔，盡量接近產(chǎn)品合格要求漏率，東貝真空可以提供從E-2到E-12mbarL/s的標(biāo)準(zhǔn)漏孔。用戶可選用帶氣室的標(biāo)準(zhǔn)漏孔或開放式漏孔。無錫滲氦標(biāo)準(zhǔn)漏孔的漏率標(biāo)準(zhǔn)漏孔老化會導(dǎo)致漏率發(fā)生明顯變化 。

冷媒標(biāo)準(zhǔn)漏孔組(適用于計(jì)量院及第三方校準(zhǔn)機(jī)構(gòu)）R32/R410a/R22/R134a（常用的4種氣體），概述：鹵素檢漏儀是一種以氟、氯、溴等鹵族元素作為示漏氣體的檢漏儀器，其測量范圍一般為（0~300）g/a。解釋：為何3g/a較小可檢漏率即鹵素檢漏儀的靈敏度，是衡量檢漏儀性能的關(guān)鍵指標(biāo);鹵素標(biāo)準(zhǔn)漏孔一般溯源下限為(1~2)g/a;經(jīng)咨詢大量鹵素檢漏儀用戶得知客戶關(guān)鍵側(cè)漏點(diǎn)為3g/a;每次校準(zhǔn)前應(yīng)確認(rèn)本底對鹵素檢漏儀校準(zhǔn)的影響，若本底過大，必要時(shí)開窗通風(fēng)后清零，若無法通風(fēng)，則等本底穩(wěn)定后清零;校準(zhǔn)時(shí)切忌鹵素檢漏儀附近風(fēng)量過大，且盡量頂住標(biāo)準(zhǔn)器的泄漏口，確保鹵素標(biāo)準(zhǔn)漏孔的放出的示漏氣體全部被吸入。

隨著檢漏方法和技術(shù)發(fā)展，越來越強(qiáng)調(diào)檢漏的定量要求，舉例：產(chǎn)品質(zhì)量管理體系要求，項(xiàng)目驗(yàn)收要求，計(jì)量活動要求。所以標(biāo)準(zhǔn)漏孔被采用。但是在標(biāo)準(zhǔn)漏孔使用溯源方面存在著太多的定義方面的模糊甚至錯(cuò)誤，根據(jù)本人多年在該領(lǐng)域的實(shí)際經(jīng)驗(yàn)特此做了一定的總結(jié)供行業(yè)人士參考。這里標(biāo)準(zhǔn)漏孔是廣義上的標(biāo)準(zhǔn)漏孔，是指所有檢漏儀和檢漏系統(tǒng)用來定量或量值溯源經(jīng)過標(biāo)定的漏率標(biāo)準(zhǔn)器。按照使用方式和分為：真空漏孔，正壓漏孔和壓差漏孔。本資料漏率不僅限于真空檢漏量值的溯源。標(biāo)準(zhǔn)漏孔需按規(guī)范定期進(jìn)行性能校準(zhǔn)與核查。

氣泡檢漏法氣泡法是出現(xiàn)比較早的檢漏方法，以其操作簡單，成本低廉而得到廣泛應(yīng)用。其原理是當(dāng)漏孔兩側(cè)存在壓差時(shí)，氣體就會通過泄漏點(diǎn)從高壓側(cè)向低壓側(cè)流動，如果將被測件放入液體中，將會出現(xiàn)氣泡，通過觀察氣泡產(chǎn)生位置可以確定泄漏點(diǎn)位置，通過收集氣體或者數(shù)氣泡的方法測量漏率。使泄漏點(diǎn)兩側(cè)產(chǎn)生壓差的方法有三種：充氣法，熱槽法和抽真空法。充氣法首先向被檢件中沖入氣體，使其壓力上升到規(guī)定值，然后將被檢件放入液體中，觀察氣泡。這樣的檢測結(jié)果很大程度上取決于測試者本人的判斷，而且光憑氣泡很難確定出泄漏率的大小。同時(shí)這些方法還可能帶來另外一些問題，如對被測物進(jìn)行拆卸，清洗，烘干，涂防銹漆等額外工作。標(biāo)準(zhǔn)漏孔使用后需清潔并妥善保存?zhèn)溆?。南京非標(biāo)漏孔定制

標(biāo)準(zhǔn)漏孔在半導(dǎo)體制造檢漏中經(jīng)常使用。北京通道型標(biāo)準(zhǔn)漏孔出口多大

標(biāo)準(zhǔn)漏孔的漏率換算：1mbar.L/sec=0.1Pa.m3/sec=1/1.013atm.cc/sec=0.987std.cc/sec(標(biāo)準(zhǔn)體積)=59.23scc/min、1mbar.L/sec≈1cc/sec,直觀的來說,1mbar.L/sec≈1秒鐘泄漏1cc標(biāo)準(zhǔn)體積氣體、23℃,某氣體分子量=m,它的泄漏率為Xmbar.L/s，換算成克/年見如下公式:Xmbar.L/s=(X*365*86400)/(22.413*1000)*(273/(273+23))*m*(1/1.013)(克/年)，漏孔壓力：一般分為表壓(相對大氣壓的壓差)和絕壓(相對真空的壓差)。漏孔絕壓：1個(gè)大氣壓+表壓。北京通道型標(biāo)準(zhǔn)漏孔出口多大