高精密環(huán)境控制設(shè)備是一款自主研發(fā)的精密環(huán)境控制產(chǎn)品，主要由設(shè)備主柜體、控制系統(tǒng)、氣流循環(huán)系統(tǒng)、潔凈過濾器、制冷(熱)系統(tǒng)、照明系統(tǒng)、局部氣浴等組成，為光刻機(jī)、激光干涉儀等精密測量、精密制造設(shè)備提供招高精度溫濕度、潔凈度的工作環(huán)境。該設(shè)備內(nèi)部通過風(fēng)機(jī)引導(dǎo)氣流以一定的方向循環(huán)，控制系統(tǒng)對循環(huán)氣流的每個環(huán)節(jié)進(jìn)行處理，從而使柜內(nèi)的溫濕度達(dá)到超高的控制精度。溫度穩(wěn)定性蕞高可達(dá)±0.002°C，濕度穩(wěn)定性蕞高可達(dá)±0.3%RH，潔凈等級蕞高可實現(xiàn) ISO class 1級。靈活部署：采用可拆卸鋁合金框架結(jié)構(gòu)，大型設(shè)備現(xiàn)場輕松組裝，大幅節(jié)省安裝成本和時間。廣東激光設(shè)備精密溫控

不同場景對精密環(huán)控設(shè)備的設(shè)計和功能要求差異很大，比如實驗室用的精密環(huán)控設(shè)備與工業(yè)生產(chǎn)線配套的精密環(huán)控設(shè)備，在結(jié)構(gòu)和性能側(cè)重上就大不相同。其次要明確溫濕度要求，根據(jù)實際需求確定所需控制的溫度和濕度穩(wěn)定性參數(shù)，這是精密環(huán)控設(shè)備能否滿足關(guān)鍵需求的基礎(chǔ)。不同潔凈度標(biāo)準(zhǔn)對精密環(huán)控設(shè)備的過濾系統(tǒng)等設(shè)計影響很大。除了溫濕度和潔凈度，如光照、氣壓等，這會影響精密環(huán)控設(shè)備的功能配置。另外，使用頻率也不容忽視，如果需要長時間連續(xù)使用，精密環(huán)控設(shè)備的穩(wěn)定性和可靠性就極為關(guān)鍵；而偶爾使用時，可適當(dāng)降低對設(shè)備部分性能的要求。

在眾多精密環(huán)控設(shè)備供應(yīng)商中，極測（南京）技術(shù)有限公司值得關(guān)注。作為南京拓展科技旗下企業(yè)，極測（南京）憑借深厚的技術(shù)沉淀與持續(xù)的創(chuàng)新熱忱，在行業(yè)內(nèi)嶄露頭角。該公司擁有結(jié)合全場景非標(biāo)定制能力，可滿足用戶不同環(huán)境參數(shù)及使用需求，涵蓋溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度，抗微振、防磁、隔音等個性化需求。其研發(fā)的精密環(huán)控柜蕞高可實現(xiàn)±0.002℃高精密溫度控制，以及潔凈度十級的潔凈環(huán)境，已成功為光刻機(jī)、激光干涉儀等精密儀器提供穩(wěn)定工作環(huán)境，服務(wù)了多家全球半導(dǎo)體、通信設(shè)備、顯示面板企業(yè)與**重點(diǎn)實驗室。 陜西精密溫控采購極測（南京）研發(fā)及設(shè)計團(tuán)隊，涵蓋了產(chǎn)品經(jīng)理、結(jié)構(gòu)工程師、暖通、電氣自控等各類專業(yè)人才。

極測（南京）微環(huán)境控制系統(tǒng)設(shè)備內(nèi)部濕度穩(wěn)定性可達(dá) ±0.5%@8h，有效防止因濕度變化引發(fā)的光學(xué)元件發(fā)霉、機(jī)械部件生銹等問題，延長立式干涉儀使用壽命。同時，系統(tǒng)可實現(xiàn)百級以上潔凈度控制，蕞高優(yōu)于 ISO class3（設(shè)備工作區(qū)），避免灰塵等污染物影響光線傳播與干涉條紋，為干涉儀營造超凈工作空間。 智能功能助力運(yùn)維極測微環(huán)境控制系統(tǒng)具備強(qiáng)大的數(shù)據(jù)實時記錄查詢功能。運(yùn)行中的溫度、濕度等關(guān)鍵數(shù)據(jù)自動生成曲線，便于操作人員直觀掌握環(huán)境變化。微環(huán)境控制系統(tǒng)數(shù)據(jù)自動保存且可隨時導(dǎo)出，運(yùn)行狀態(tài)與故障狀態(tài)同步記錄，方便進(jìn)行數(shù)據(jù)分析、質(zhì)量追溯與故障排查。此外，自動**保護(hù)系統(tǒng)可實現(xiàn)故障自動保護(hù)，確保設(shè)備全天候穩(wěn)定運(yùn)行，減少因故障導(dǎo)致的測量中斷。

合理的箱體結(jié)構(gòu)有助于提升精密環(huán)控設(shè)備溫濕度的均勻性和控制效果，例如雙層保溫結(jié)構(gòu)、優(yōu)化風(fēng)道設(shè)計等，能增強(qiáng)精密環(huán)控設(shè)備的保溫性能和控制精度。精密環(huán)控設(shè)備的外殼和內(nèi)部材質(zhì)應(yīng)具備良好的耐磨性，部分還需要優(yōu)良的保溫性能，以延長精密環(huán)控設(shè)備的使用壽命。極測的精密環(huán)控柜采用合理的柜體結(jié)構(gòu)設(shè)計，主柜體為內(nèi)部精密組件提供穩(wěn)固物理空間，同時采用可拆卸鋁合金框架，方便大型設(shè)備在不同科研場所進(jìn)行現(xiàn)場組裝，其箱體采用的高質(zhì)量鈑金材質(zhì)堅固耐用。  極測（南京）技術(shù)有限公司，作為成熟的高精密環(huán)境控制設(shè)備制造商，專注于高精密事業(yè)創(chuàng)新與發(fā)展。

晶圓制造是一項對環(huán)境極為敏感的工藝。無論是光刻、刻蝕，還是封裝環(huán)節(jié)，溫度的細(xì)微波動和空氣中的微小顆粒都可能帶來災(zāi)難性后果，影響芯片的功能或造成短路或斷路，導(dǎo)致整片晶圓報廢。南京拓展科技旗下企業(yè)，極測（南京）技術(shù)有限公司推出的超精密恒溫潔凈棚，憑借突破性的環(huán)境控制技術(shù)，為晶圓構(gòu)建起無可比擬的操作空間，可實現(xiàn)±0.002℃，±0.005℃，±0.05℃，±0.01℃，±0.1℃等不同等級精度的溫度控制，及ISO class1-ISO class6不同等級的潔凈度，相比晶圓操作臺通過被動抵御環(huán)境溫度變化，極測精密恒溫潔凈棚通過其在溫度控制和潔凈度管理上的雙重突破，主動調(diào)控外部溫度，形成超精密恒溫潔凈間的 “黃金環(huán)境”，成為推動半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)向更高精度邁進(jìn)的關(guān)鍵力量。極測（南京）高精密水冷冷凍水機(jī)組采用自主研發(fā)高精度溫度采集模塊，準(zhǔn)確測量實驗艙內(nèi)實時的溫濕度。陜西精密溫控采購

極測（南京）的售后服務(wù)團(tuán)隊，以高效、專業(yè)的服務(wù)，確保您的設(shè)備始終處于優(yōu)良狀態(tài)。廣東激光設(shè)備精密溫控

極測（南京）技術(shù)有限公司采用相對濕度由外環(huán)境保證，大環(huán)境控制空氣中的絕dui含濕量保持穩(wěn)定，以實現(xiàn)環(huán)境倉內(nèi)部濕度穩(wěn)定性。其超精密環(huán)控艙內(nèi)部構(gòu)造先進(jìn)，包括分區(qū)送風(fēng)靜壓腔、分區(qū)回風(fēng)流道、毫 K 級測溫采集模組 + 1/10Bpt100 矩陣式分布、中低頻吸 / 阻靜音設(shè)計方案等。自研高精密溫控技術(shù)，冷凍水的出水溫度蕞高精度可達(dá) ±0.002℃。
在溫度控制方面，采用大風(fēng)量小溫差的設(shè)計思想，通過快速循環(huán)空氣過濾并帶走熱量，使溫度波動處于極低數(shù)值，關(guān)鍵區(qū)域可達(dá) ±0.002℃。同時采用多級控溫，將溫度精度逐步提升。針對光路部分設(shè)計密閉防護(hù)罩，表面開孔可有效降低發(fā)熱區(qū)域溫度，控制風(fēng)速。對于局部發(fā)熱區(qū)域，采用局部氣浴進(jìn)行溫度控制，確保該區(qū)域溫度在一定范圍內(nèi)，且 30s 內(nèi)的溫度變化率不超過 0.03℃。
精密環(huán)控系統(tǒng)安裝后，精度顯著提高。溫度穩(wěn)定性從 ±2℃提升至 ±0.004℃，濕度穩(wěn)定性從 ±10% RH 提升至 ±0.8% RH，潔凈度從 100 級提升至 10 級，噪音值從 70dB 降低至 55dB，測量誤差從 400 降低至 4。
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