半導體刻蝕工藝中產(chǎn)生的含氟氣體（如 CF4、SF6）對螺桿真空泵腐蝕性極強，需從材質、結構、后處理三方面制定方案。材質選擇上，轉子采用哈氏合金或蒙乃爾合金，這類合金含鎳量超 60%，在氟化物環(huán)境中腐蝕速率低于 0.1mm / 年；泵腔內壁噴涂陶瓷涂層（厚度 50-100μm），硬度達 HRC60 以上，隔絕氣體與金屬接觸。結構優(yōu)化方面，采用無油潤滑設計，避免潤滑油與氟化物反應生成腐蝕性物質；設置氣體冷卻通道，將氣體溫度從 150℃降至 80℃以下，減緩腐蝕反應速率。后處理環(huán)節(jié)，在排氣口加裝吸附塔，填充活性氧化鋁與氯化鈣混合吸附劑，吸附未反應的氟化物氣體（吸附效率≥95%），避免直接排放污染環(huán)境。采用該方案的設備，在連續(xù)處理含氟氣體工況下，使用壽命可達 5 年以上，較普通設備延長 3 倍。

螺桿真空泵與羅茨泵組合使用可實現(xiàn) “粗真空 - 中高真空” 的連續(xù)覆蓋，設計需把握三個**要點。一是抽速匹配，羅茨泵抽速應是螺桿泵的 1.5-2 倍，避免因羅茨泵抽速過大導致螺桿泵過載，例如螺桿泵抽速 300m?/h 時，搭配 500-600m?/h 的羅茨泵**為適宜；二是壓力切換控制，設置壓力傳感器，當系統(tǒng)壓力降至 100Pa 以下時啟動羅茨泵，防止羅茨泵在高壓力下運行導致過熱；三是管路優(yōu)化，采用大口徑（直徑≥DN80）無縫鋼管，減少管路阻力，同時在兩泵之間加裝止回閥，防止羅茨泵停機時氣體反流。合理設計的組合系統(tǒng)，極限真空度可從螺桿泵單獨運行的 10??Pa 提升至 10??Pa，且抽氣時間縮短 40%，適配真空鍍膜、太空模擬等高精度場景。

馬德寶真空設備集團有限公司成立于1992年，專業(yè)生產(chǎn)螺桿真空泵系列、羅茨真空泵系列、滑閥真空泵系列、水環(huán)式真空泵系列、往復真空泵系列及各種真空泵抽氣機組。經(jīng)過三十年的努力，公司在人才、管理、產(chǎn)品研發(fā)、質量控制、市場開發(fā)等方面積累了相當大的優(yōu)勢，產(chǎn)品廣泛應用于食品、制冷、制藥、化工、石油、冶煉、陶瓷、工藝品、電子、電器、航天、航空、真空鍍膜、真空熱處理、真空爐及其它科研等領域。 公司總占地面積100畝，廠房等建筑面積43000m，現(xiàn)在員工200余人，其中工程技術人員41人，總公司注冊資金5010萬元，下屬子公司:沈陽馬德堡真空設備制造有限公司，浙江摩泰螺桿真空泵有限公司，臺州市興華真空設備制造有限公司，浙江馬德堡壓縮機有限公司。 公司近年來新建廠房32000m，通過多次技術改造，配置日本、德國數(shù)控加工中心及一臺大型三坐標測量儀、一臺大型外圓磨床等其他加工設備共120多臺，精加工設有恒溫加工車間，設備水平在國內真空泵制造行業(yè)處于前列，實現(xiàn)了數(shù)字化加工及數(shù)字化檢測。產(chǎn)品精度提高，產(chǎn)品質量在國內同行業(yè)中處于前列。