真空電弧自耗爐依賴高真空環(huán)境實現(xiàn)活性金屬精煉，羅茨真空泵是其真空系統(tǒng)的**組成。在鈦、鋯等金屬重熔中，其與機械泵、油增壓泵串聯(lián)使用，可將爐內真空度從大氣壓快速降至 1×10??Pa，抽除爐內氧氣與雜質氣體，避免金屬熔煉時氧化。自耗電極熔化階段，羅茨真空泵能實時抽除電極釋放的氣體與熔煉產生的揮發(fā)物，配合大電流精煉實現(xiàn)深度除雜，使鑄錠純凈度***提升；其 30-1200L/s 的寬范圍抽速可適配不同直徑電極的熔煉需求，保障熔池穩(wěn)定性。該設備還具備耐高溫特性，在 1000℃以上熔煉溫度下仍能穩(wěn)定運行，支持連續(xù)多爐次生產，滿足航空航天用高純度金屬鑄錠的生產需求。羅茨真空泵振動小，減少對周邊設備的影響。浙江ZJQ氣冷式羅茨真空泵故障

碳化硅單晶生長對真空環(huán)境的極限壓力與穩(wěn)定性要求嚴苛，羅茨真空泵通過與渦輪分子泵聯(lián)用滿足工藝需求。在單晶爐升溫階段，其先將爐內壓力從大氣壓快速降至 10?Pa，抽除爐腔殘留空氣與水分；隨著溫度升至 2000℃以上，羅茨真空泵接力抽氣，配合液氮冷阱將壓力進一步降至 10??Pa，為碳化硅晶體生長提供超高真空環(huán)境。其 6000rpm 以上的高轉速轉子能快速抽除晶體生長過程中釋放的硅蒸汽與雜質氣體，減少單晶缺陷；動態(tài)壓力調節(jié)能力可應對生長過程中的突發(fā)氣體釋放，抽速波動率＜5%，保障晶體尺寸均勻性與電學性能。該設備還具備耐腐蝕涂層，能耐受碳化硅生長環(huán)境中的微量腐蝕性氣體，延長使用壽命。浙江進口羅茨真空泵經銷商定制化羅茨真空泵，滿足不同企業(yè)個性化需求。

碳化硅外延工藝需在超潔凈低壓環(huán)境中進行，羅茨真空泵的無油污染與精細控壓特性使其成為**設備。在外延爐預處理階段，其與分子泵串聯(lián)使用，可將爐內真空度提升至 10??Pa，抽除襯底表面吸附的氧、氮雜質，保障外延層質量。外延生長階段，羅茨真空泵能精確控制反應室壓力在 1-10Pa，配合氣體流量控制系統(tǒng)，實時抽除未反應的硅烷、氫氣等原料氣體，避免多余氣體沉積影響外延層厚度均勻性。對于 6 英寸及以上大尺寸碳化硅外延，其 1200L/s 的超大抽速可實現(xiàn)反應氣體快速置換，縮短工藝周期；其 IoT 傳感器還能實時監(jiān)測抽氣速率與壓力變化，實現(xiàn)預測性維護，減少設備停機時間。

羅茨真空泵（簡稱羅茨泵）是無內壓縮的旋轉變容式真空泵，由羅茨鼓風機演變而來。按工作壓力范圍，可分為直排大氣的干式真空泵、濕式羅茨泵、中真空羅茨泵（機械增壓泵）和高真空多級羅茨泵。它具有諸多***特點，在較寬壓力范圍內抽速大，設有旁通溢流閥可在大氣壓力下啟動以縮短抽氣時間，轉子與轉子、轉子與泵腔壁間有 0.15-1.0mm 間隙，無摩擦無需潤滑，泵腔內無油，運行平穩(wěn)噪聲低，結構緊湊占地面積小，臥式結構利于排除灰塵或冷凝物。在真空工程中，羅茨泵常與前級泵（旋片泵、滑閥泵、水環(huán)泵等）串聯(lián)構成機組，雙級或多級機組可獲高真空，氣冷式機組適用于干式清潔無油系統(tǒng)，濕式機組適用于含水蒸氣系統(tǒng)。因其抽速高（可達 100000m?/h 以上）、結構簡單、運行經濟，在冶金、石油化工、輕工造紙、電工電子、食品等工業(yè)部門應用***。
輕量化羅茨真空泵，便于設備搬運與安裝調試。

羅茨真空泵停機時，先關閉前級油封機械泵氣鎮(zhèn)閥（若運轉時開啟），再關閉羅茨泵進氣閥，隨后停羅茨泵，接著停前級泵，停前級泵的同時立即向其進氣口充入大氣，***關閉冷卻水進水閥。長時間停用或冬季為防凍裂，需放盡冷卻水套內剩水，尤其北方地區(qū)。另外，羅茨真空泵的維護檢查需定期進行，每日檢查齒輪箱與軸承箱油位、各部位溫度及電機負荷；每月檢查聯(lián)軸器彈性體或三角膠帶張力；每季檢查齒輪箱潤滑油是否變質；每半年檢查前蓋軸承箱潤滑油及機械密封狀況；每年檢查軸承、活塞環(huán)及襯套磨損情況，以及齒輪磨損對轉子工作的影響。拆裝時，未拆卸前需測量記錄主從動轉子各部位間隙，拆卸避免重錘敲打，零件需清洗保管并記錄更換情況；重裝前零件要修光毛刺并擦凈，無密封墊襯的靜密封平面涂“106”有機硅橡膠涂料，橡膠密封件涂真空脂，按原間隙調整轉子間隙，裝好后需檢漏、試運轉及性能測試，正常后方可投入使用。羅茨真空泵能在低入口壓強下將氣體攜帶至排氣口，由前級泵排除。浙江氣冷羅茨真空泵選購建議

羅茨泵的轉子由傳動比 1 的齒輪帶動同步旋轉，幾何對稱性確保運轉平穩(wěn)，高轉速設計依托無接觸間隙實現(xiàn)。浙江ZJQ氣冷式羅茨真空泵故障

羅茨泵的轉子型線多采用漸開線，以提高容積利用率和加工精度。泵體結構有立式、臥式和豎軸式三種，臥式結構因重心低、穩(wěn)定性好，常用于大中型泵。泵的密封系統(tǒng)包括機械密封、填料密封等，防止氣體泄漏。為適應高壓差工況，部分羅茨泵配備冷卻系統(tǒng)，如空氣冷卻、油膜冷卻或水冷，避免轉子因過熱膨脹卡死。羅茨泵在10??Pa至10?Pa的壓力范圍內抽速較大，能快速抽除大量氣體，且對被抽氣體中的灰塵和水蒸氣不敏感，無油潤滑設計避免油蒸氣污染真空系統(tǒng)，適用于電子、化工、制藥等對潔凈度要求高的行業(yè)。與傳統(tǒng)水環(huán)泵相比，羅茨泵能耗更低，節(jié)能效果***。浙江ZJQ氣冷式羅茨真空泵故障

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