國(guó)瑞熱控 12 英寸半導(dǎo)體加熱盤專為先進(jìn)制程量產(chǎn)需求設(shè)計(jì)，采用氮化鋁陶瓷與高純銅復(fù)合基材，通過多道精密研磨工藝，使加熱面平面度誤差控制在 0.015mm 以內(nèi)，完美貼合大尺寸晶圓的均勻受熱需求。內(nèi)部采用分區(qū)式加熱元件布局，劃分 8 個(gè)**溫控區(qū)域，配合高精度鉑電阻傳感器，實(shí)現(xiàn) ±0.8℃的控溫精度，滿足 7nm 至 14nm 制程對(duì)溫度均勻性的嚴(yán)苛要求。設(shè)備支持真空吸附與靜電卡盤雙重固定方式，適配不同類型的反應(yīng)腔結(jié)構(gòu)，升溫速率達(dá) 20℃/ 分鐘，工作溫度范圍覆蓋室溫至 600℃，可兼容 PVD、CVD、刻蝕等多道關(guān)鍵工藝。通過與中芯國(guó)際、長(zhǎng)江存儲(chǔ)等企業(yè)的深度合作，已實(shí)現(xiàn)與國(guó)產(chǎn) 12 英寸晶圓生產(chǎn)線的無縫對(duì)接，為先進(jìn)制程規(guī)模化生產(chǎn)提供穩(wěn)定溫控支撐。多種規(guī)格尺寸可選，支持個(gè)性化定制，滿足不同行業(yè)的特殊應(yīng)用需求。靜安區(qū)晶圓鍵合加熱盤

針對(duì)半導(dǎo)體濕法工藝中溶液溫度控制需求，國(guó)瑞熱控濕法**加熱盤采用耐腐蝕不銹鋼材質(zhì)，經(jīng)電解拋光與鈍化處理，可耐受酸堿溶液長(zhǎng)期浸泡無腐蝕。加熱盤內(nèi)置密封式加熱元件，與溶液完全隔離，避免漏電風(fēng)險(xiǎn)，同時(shí)具備 1500V/1min 的電氣強(qiáng)度，使用**可靠。通過底部加熱與側(cè)面保溫設(shè)計(jì)，使溶液溫度均勻性控制在 ±1℃以內(nèi)，溫度調(diào)節(jié)范圍覆蓋 25℃至 100℃，滿足濕法刻蝕、清洗等工藝的溫度要求。配備高精度溫度傳感器，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)溶液溫度，當(dāng)溫度超出設(shè)定范圍時(shí)自動(dòng)啟動(dòng)加熱或冷卻調(diào)節(jié)，確?；瘜W(xué)反應(yīng)平穩(wěn)進(jìn)行。設(shè)備適配不同規(guī)格的濕法工藝槽體，可根據(jù)槽體尺寸定制加熱盤形狀與功率，為半導(dǎo)體濕法工藝的穩(wěn)定性與重復(fù)性提供保障。靜安區(qū)半導(dǎo)體加熱盤非標(biāo)定制專業(yè)應(yīng)用工程師團(tuán)隊(duì)，提供工藝優(yōu)化建議，創(chuàng)造更大價(jià)值。

針對(duì)車載半導(dǎo)體高可靠性需求，國(guó)瑞熱控測(cè)試加熱盤適配 AEC-Q100 標(biāo)準(zhǔn)。采用**級(jí)鋁合金基材，通過 - 55℃至 150℃高低溫循環(huán)測(cè)試 5000 次無變形，加熱面平整度誤差小于 0.03mm。溫度調(diào)節(jié)范圍覆蓋 - 40℃至 200℃，升降溫速率達(dá) 30℃/ 分鐘，可模擬車載芯片在極端環(huán)境下的工作狀態(tài)。配備 100 組可編程溫度曲線，支持持續(xù) 1000 小時(shí)老化測(cè)試，與比亞迪半導(dǎo)體、英飛凌等企業(yè)適配，通過溫度沖擊、濕熱循環(huán)等可靠性驗(yàn)證，為新能源汽車電控系統(tǒng)提供質(zhì)量保障。

國(guó)瑞熱控推出半導(dǎo)體加熱盤**溫度監(jiān)控軟件，實(shí)現(xiàn)加熱過程的數(shù)字化管理與精細(xì)控制。軟件具備實(shí)時(shí)溫度顯示功能，可通過圖表直觀呈現(xiàn)加熱盤各區(qū)域溫度變化曲線，支持多臺(tái)加熱盤同時(shí)監(jiān)控，方便生產(chǎn)線集中管理。內(nèi)置溫度數(shù)據(jù)存儲(chǔ)與導(dǎo)出功能，可自動(dòng)記錄加熱過程中的溫度參數(shù)，存儲(chǔ)時(shí)間長(zhǎng)達(dá) 1 年，便于工藝追溯與質(zhì)量分析。具備溫度異常報(bào)警功能，當(dāng)加熱盤溫度超出設(shè)定范圍或出現(xiàn)波動(dòng)異常時(shí)，自動(dòng)發(fā)出聲光報(bào)警并記錄異常信息，提醒操作人員及時(shí)處理。軟件兼容 Windows 與 Linux 操作系統(tǒng)，通過以太網(wǎng)與加熱盤控制系統(tǒng)連接，安裝調(diào)試便捷，適配國(guó)瑞全系列半導(dǎo)體加熱盤，為半導(dǎo)體生產(chǎn)線的智能化管理提供技術(shù)支持。熱解決方案伙伴，深入探討共同優(yōu)化工藝熱管理。

國(guó)瑞熱控深耕半導(dǎo)體加熱盤國(guó)產(chǎn)化研發(fā)，針對(duì)進(jìn)口設(shè)備的技術(shù)壁壘與供應(yīng)風(fēng)險(xiǎn)，推出全套替代方案。方案涵蓋6英寸至12英寸不同規(guī)格加熱盤，材質(zhì)包括鋁合金、氮化鋁陶瓷等，可直接替換Kyocera、CoorsTek等國(guó)際品牌同型號(hào)產(chǎn)品，且在溫度均勻性、控溫精度等關(guān)鍵指標(biāo)上達(dá)到同等水平。通過與國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備廠商的聯(lián)合開發(fā)，實(shí)現(xiàn)加熱盤與國(guó)產(chǎn)設(shè)備的深度適配，解決進(jìn)口產(chǎn)品安裝調(diào)試復(fù)雜、售后服務(wù)滯后等問題。替代方案不僅在采購(gòu)成本上較進(jìn)口產(chǎn)品降低30%以上，且交貨周期縮短至45天以內(nèi)，大幅提升供應(yīng)鏈穩(wěn)定性。已為國(guó)內(nèi)多家半導(dǎo)體制造企業(yè)提供國(guó)產(chǎn)化替代服務(wù)，助力半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈自主可控，推動(dòng)國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。多種規(guī)格形狀靈活定制，滿足特殊需求，無錫國(guó)瑞是您可靠合作伙伴。南京晶圓級(jí)陶瓷加熱盤廠家

專業(yè)團(tuán)隊(duì)技術(shù)支持，從選型到安裝全程指導(dǎo)，解決您的后顧之憂。靜安區(qū)晶圓鍵合加熱盤

國(guó)瑞熱控針對(duì)氮化鎵外延生長(zhǎng)工藝，開發(fā)**加熱盤適配 MOCVD 設(shè)備需求。采用高純石墨基材表面噴涂氮化鋁涂層，在 1200℃高溫下熱膨脹系數(shù)與藍(lán)寶石襯底匹配，避免襯底開裂風(fēng)險(xiǎn)，熱導(dǎo)率達(dá) 150W/mK，確保熱量均勻傳遞至襯底表面。內(nèi)部設(shè)計(jì) 8 組**加熱模塊，通過 PID 精密控制實(shí)現(xiàn) ±0.5℃的控溫精度，精細(xì)匹配氮化鎵外延層生長(zhǎng)的溫度窗口（1050℃-1150℃）。設(shè)備配備惰性氣體導(dǎo)流通道，減少反應(yīng)氣體湍流導(dǎo)致的薄膜缺陷，與中微公司 MOCVD 設(shè)備聯(lián)合調(diào)試，使外延層厚度均勻性誤差控制在 3% 以內(nèi)，為 5G 射頻器件、電力電子器件量產(chǎn)提供**溫控支持。靜安區(qū)晶圓鍵合加熱盤

無錫市國(guó)瑞熱控科技有限公司匯集了大量的優(yōu)秀人才，集企業(yè)奇思，創(chuàng)經(jīng)濟(jì)奇跡，一群有夢(mèng)想有朝氣的團(tuán)隊(duì)不斷在前進(jìn)的道路上開創(chuàng)新天地，繪畫新藍(lán)圖，在江蘇省等地區(qū)的電工電氣中始終保持良好的信譽(yù)，信奉著“爭(zhēng)取每一個(gè)客戶不容易，失去每一個(gè)用戶很簡(jiǎn)單”的理念，市場(chǎng)是企業(yè)的方向，質(zhì)量是企業(yè)的生命，在公司有效方針的領(lǐng)導(dǎo)下，全體上下，團(tuán)結(jié)一致，共同進(jìn)退，齊心協(xié)力把各方面工作做得更好，努力開創(chuàng)工作的新局面，公司的新高度，未來無錫市國(guó)瑞熱控科技供應(yīng)和您一起奔向更美好的未來，即使現(xiàn)在有一點(diǎn)小小的成績(jī)，也不足以驕傲，過去的種種都已成為昨日我們只有總結(jié)經(jīng)驗(yàn)，才能繼續(xù)上路，讓我們一起點(diǎn)燃新的希望，放飛新的夢(mèng)想！