








2025-11-07 04:29:40
針對(duì)半導(dǎo)體晶圓研磨后的應(yīng)力釋放需求,國(guó)瑞熱控**加熱盤以溫和溫控助力晶圓性能穩(wěn)定。采用鋁合金基體與柔性導(dǎo)熱墊層復(fù)合結(jié)構(gòu),導(dǎo)熱墊層硬度 Shore A 30,可貼合研磨后晶圓表面微小凹凸,確保熱量均勻傳遞。溫度調(diào)節(jié)范圍 30℃-150℃,控溫精度 ±0.8℃,支持階梯式升溫(每階段升溫 5℃-10℃,保溫 10-30 分鐘),緩慢釋放晶圓內(nèi)部機(jī)械應(yīng)力。配備氮?dú)獗Wo(hù)系統(tǒng),避免加熱過(guò)程中晶圓表面氧化,且加熱盤表面粗糙度 Ra 小于 0.05μm,無(wú)顆粒劃傷晶圓風(fēng)險(xiǎn)。與硅產(chǎn)業(yè)集團(tuán)、中環(huán)股份等晶圓廠商合作,使研磨后晶圓翹曲度降低 20% 以上,提升后續(xù)光刻、刻蝕工藝的良率。升溫迅速表面溫差小,過(guò)熱保護(hù)**耐用,為設(shè)備護(hù)航。上海半導(dǎo)體晶圓加熱盤廠家

國(guó)瑞熱控半導(dǎo)體測(cè)試用加熱盤,專為芯片性能測(cè)試環(huán)節(jié)的溫度環(huán)境模擬設(shè)計(jì),可精細(xì)復(fù)現(xiàn)芯片工作時(shí)的溫度條件。設(shè)備溫度調(diào)節(jié)范圍覆蓋 - 40℃至 150℃,支持快速升溫和降溫,速率分別達(dá) 25℃/ 分鐘和 20℃/ 分鐘,能模擬不同工況下的溫度變化。加熱盤表面采用柔性導(dǎo)熱墊層,適配不同厚度的測(cè)試芯片,確保熱量均勻傳遞至芯片表面,溫度控制精度達(dá) ±0.5℃。配備可編程溫度控制系統(tǒng),可預(yù)設(shè)多段溫度曲線,滿足長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定性測(cè)試需求。設(shè)備運(yùn)行時(shí)無(wú)電磁場(chǎng)干擾,避免對(duì)測(cè)試數(shù)據(jù)產(chǎn)生影響,同時(shí)具備過(guò)溫、過(guò)流雙重保護(hù)功能,為半導(dǎo)體芯片的性能驗(yàn)證與質(zhì)量檢測(cè)提供專業(yè)溫度環(huán)境。廣東高精度均溫加熱盤生產(chǎn)廠家低熱容設(shè)計(jì)升溫降溫快,實(shí)現(xiàn)高效熱循環(huán),適合快速變溫工藝。

針對(duì)半導(dǎo)體制造中的高真空工藝需求,國(guó)瑞熱控開發(fā)**真空密封組件,確保加熱盤在真空環(huán)境下穩(wěn)定運(yùn)行。組件采用氟橡膠與金屬骨架復(fù)合結(jié)構(gòu),耐溫范圍覆蓋 - 50℃至 200℃,可長(zhǎng)期在 10??Pa 真空環(huán)境下使用無(wú)泄漏。密封件與加熱盤接口精細(xì)匹配,通過(guò)多道密封設(shè)計(jì)提升真空密封性,避免反應(yīng)腔體內(nèi)真空度下降影響工藝質(zhì)量。組件安裝過(guò)程簡(jiǎn)單,無(wú)需特殊工具,且具備良好的耐磨性與抗老化性能,使用壽命超 5000 次拆裝循環(huán)。適配 CVD、PVD 等真空工藝用加熱盤,與國(guó)產(chǎn)真空設(shè)備廠商的反應(yīng)腔體兼容,為半導(dǎo)體制造中的高真空環(huán)境提供可靠密封保障,助力提升工藝穩(wěn)定性與產(chǎn)品良率。
國(guó)瑞熱控封裝測(cè)試**加熱盤聚焦半導(dǎo)體后道工藝需求,采用輕量化鋁合金材質(zhì),通過(guò)精密加工確保加熱面平整度誤差小于 0.05mm,適配不同尺寸封裝器件的測(cè)試需求。加熱元件采用片狀分布設(shè)計(jì),熱響應(yīng)速度快,可在 5 分鐘內(nèi)將測(cè)試溫度穩(wěn)定在 - 40℃至 150℃之間,滿足高低溫循環(huán)測(cè)試、老化測(cè)試等場(chǎng)景要求。表面采用防粘涂層處理,減少測(cè)試過(guò)程中污染物附著,且易于清潔維護(hù)。配備可編程溫控系統(tǒng),支持自定義測(cè)試溫度曲線,可存儲(chǔ) 100 組以上測(cè)試參數(shù),方便不同型號(hào)器件的測(cè)試切換。與長(zhǎng)電科技、通富微電等封裝測(cè)試企業(yè)合作,適配其自動(dòng)化測(cè)試生產(chǎn)線,為半導(dǎo)體器件可靠性驗(yàn)證提供精細(xì)溫度環(huán)境,助力提升產(chǎn)品良率。細(xì)節(jié)處精心設(shè)計(jì),接口布線密封優(yōu)良,性能穩(wěn)定持久。

面向半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室研發(fā)場(chǎng)景,國(guó)瑞熱控小型加熱盤以高精度與靈活性成為科研得力助手。產(chǎn)品尺寸可定制至 10cm×10cm,適配小規(guī)格晶圓與實(shí)驗(yàn)樣本的加熱需求,溫度調(diào)節(jié)范圍覆蓋室溫至 500℃,**小調(diào)節(jié)精度達(dá) 1℃。采用陶瓷加熱元件與鉑電阻傳感器組合,控溫穩(wěn)定性達(dá) ±0.5℃,滿足材料研發(fā)中對(duì)溫度參數(shù)的精細(xì)控制。設(shè)備支持 USB 數(shù)據(jù)導(dǎo)出功能,可實(shí)時(shí)記錄溫度變化曲線,便于實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)追溯與分析。整體采用便攜式設(shè)計(jì),重量* 1.5kg,且具備過(guò)熱保護(hù)功能,當(dāng)溫度超過(guò)設(shè)定閾值時(shí)自動(dòng)斷電,為半導(dǎo)體新材料研發(fā)、工藝參數(shù)優(yōu)化等實(shí)驗(yàn)工作提供可靠溫控工具。高效電熱轉(zhuǎn)換效率,降低運(yùn)營(yíng)成本,實(shí)現(xiàn)綠色生產(chǎn)目標(biāo)。廣東高精度均溫加熱盤生產(chǎn)廠家
持續(xù)改進(jìn)服務(wù)理念,聽取客戶反饋,不斷提升產(chǎn)品性能。上海半導(dǎo)體晶圓加熱盤廠家
無(wú)錫國(guó)瑞熱控 PVD 工藝**加熱盤,專為物***相沉積環(huán)節(jié)的嚴(yán)苛溫控需求設(shè)計(jì)。作為晶圓加工的**載體與射頻回路下電極,其采用陶瓷與高純金屬?gòu)?fù)合基材,經(jīng)精密研磨確保加熱面平面度誤差小于 0.02mm,為薄膜均勻生長(zhǎng)提供穩(wěn)定基底。內(nèi)部螺旋狀加熱元件與均溫層協(xié)同作用,使晶圓表面溫度均勻性控制在 ±1℃以內(nèi),適配 6 英寸至 12 英寸不同規(guī)格晶圓。設(shè)備整體采用無(wú)揮發(fā)潔凈工藝處理,在高真空環(huán)境下無(wú)雜質(zhì)釋放,搭配快速升溫技術(shù)(升溫速率達(dá) 30℃/ 分鐘),完美契合 PVD 工藝中對(duì)溫度穩(wěn)定性與生產(chǎn)效率的雙重要求,為半導(dǎo)體薄膜制備提供可靠溫控支撐。上海半導(dǎo)體晶圓加熱盤廠家
無(wú)錫市國(guó)瑞熱控科技有限公司是一家有著先進(jìn)的發(fā)展理念,先進(jìn)的管理經(jīng)驗(yàn),在發(fā)展過(guò)程中不斷完善自己,要求自己,不斷創(chuàng)新,時(shí)刻準(zhǔn)備著迎接更多挑戰(zhàn)的活力公司,在江蘇省等地區(qū)的電工電氣中匯聚了大量的人脈以及客戶資源,在業(yè)界也收獲了很多良好的評(píng)價(jià),這些都源自于自身的努力和大家共同進(jìn)步的結(jié)果,這些評(píng)價(jià)對(duì)我們而言是**好的前進(jìn)動(dòng)力,也促使我們?cè)谝院蟮牡缆飞媳3謯^發(fā)圖強(qiáng)、一往無(wú)前的進(jìn)取創(chuàng)新精神,努力把公司發(fā)展戰(zhàn)略推向一個(gè)新高度,在全體員工共同努力之下,全力拼搏將共同無(wú)錫市國(guó)瑞熱控科技供應(yīng)和您一起攜手走向更好的未來(lái),創(chuàng)造更有價(jià)值的產(chǎn)品,我們將以更好的狀態(tài),更認(rèn)真的態(tài)度,更飽滿的精力去創(chuàng)造,去拼搏,去努力,讓我們一起更好更快的成長(zhǎng)!