極測（南京）技術(shù)有限公司依托母公司南京拓展科技有限公司在實(shí)驗(yàn)室專業(yè)領(lǐng)域的沉淀，尤其是暖通及自控方面的專長，同時(shí)匯聚了30多名擁有15年以上經(jīng)驗(yàn)的行業(yè)前列工程師，致力于為芯片半導(dǎo)體、精密光學(xué)、科研研發(fā)等領(lǐng)域提供定制化的高精密環(huán)境解決方案，現(xiàn)已服務(wù)多家全球半導(dǎo)體、通信設(shè)備、顯示面板企業(yè)與**重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，應(yīng)用于眾多科研與生產(chǎn)場景，科學(xué)技術(shù)成果認(rèn)定為國際先進(jìn)水平。目前，高精密環(huán)境控制設(shè)備已實(shí)現(xiàn)蕞高溫控精度±0.002℃，潔凈度十級(jí)以上。擁有結(jié)合全場景非標(biāo)定制能力，可滿足用戶不同環(huán)境參數(shù)及使用需求，持續(xù)**超高精密環(huán)控技術(shù)革新。系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)蕞高ISO Class 1級(jí)的潔凈環(huán)境（每立方米≥0.1μm顆粒物≤10個(gè)）。湖北微電子精密溫控

極測（南京）技術(shù)有限公司注重設(shè)備的穩(wěn)定性和可靠性。通過嚴(yán)格的質(zhì)量檢測和優(yōu)化設(shè)計(jì)，確保設(shè)備在長時(shí)間運(yùn)行過程中保持穩(wěn)定性能，減少故障發(fā)生的概率。同時(shí)，極測還提供完善的售后服務(wù)，及時(shí)響應(yīng)客戶的需求，為客戶解決設(shè)備使用過程中遇到的問題。 作為精密溫控設(shè)備供應(yīng)商，極測（南京）始終將守護(hù)半導(dǎo)體制造精度作為使命。憑借前列的技術(shù)、可靠的產(chǎn)品和高質(zhì)量的服務(wù)，極測正在成為半導(dǎo)體制造企業(yè)信賴的合作伙伴，為推動(dòng)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展貢獻(xiàn)力量。湖北微電子精密溫控極測（南京）的售后服務(wù)團(tuán)隊(duì)，以高效、專業(yè)的服務(wù)，確保您的設(shè)備始終處于優(yōu)良狀態(tài)。

在半導(dǎo)體制造的精密領(lǐng)域，每一個(gè)細(xì)微的溫度變化，都可能對(duì)芯片的性能產(chǎn)生重大影響。南京拓展科技旗下企業(yè)，極測（南京）作為專業(yè)的精密溫控設(shè)備供應(yīng)商，其對(duì)環(huán)境溫度控制精度可達(dá) ±0.002℃，潔凈度可達(dá)一級(jí)（優(yōu)于ISO class1），這一數(shù)據(jù)在行業(yè)內(nèi)處于前列水平，為更高精度的芯片半導(dǎo)體制造提供了可靠的環(huán)境保障。 極測（南京）投入大量資源進(jìn)行技術(shù)研發(fā)，致力于為半導(dǎo)體制造提供高精度、高穩(wěn)定性的溫控設(shè)備。以其成熟的技術(shù)和創(chuàng)新的解決方案，為半導(dǎo)體制造精度構(gòu)筑起一道堅(jiān)實(shí)的防線。

在高精密實(shí)驗(yàn)中，環(huán)境波動(dòng)帶來的影響不容忽視。溫度波動(dòng)會(huì)導(dǎo)致實(shí)驗(yàn)區(qū)域內(nèi)溫度分布不均勻，影響實(shí)驗(yàn)結(jié)果的準(zhǔn)確性和重復(fù)性；濕度變化會(huì)干擾生物實(shí)驗(yàn)、材料老化實(shí)驗(yàn)等的進(jìn)程；空氣擾動(dòng)會(huì)對(duì)微觀實(shí)驗(yàn)樣本造成物理性干擾，改變宏觀實(shí)驗(yàn)裝置或樣品的位置或姿態(tài)；還會(huì)影響光學(xué)儀器、精密天平的精度，引入灰塵顆粒、有害氣體等雜質(zhì)和污染物。 而精密環(huán)控系統(tǒng)對(duì)空氣擾動(dòng)和漂移擾動(dòng)的抑制效果明顯。數(shù)據(jù)顯示，精密環(huán)控系統(tǒng)開啟后，0.05Hz、0.15Hz、1Hz 頻率點(diǎn)累計(jì)誤差幅值下降幅度分別降低 98.03%、86.07%、85.83%，漂移擾動(dòng)得到明顯抑制，波動(dòng)范圍下降約 50%、標(biāo)準(zhǔn)差減小 45%。同時(shí)，溫度波動(dòng)對(duì)超快激光參數(shù)影響重大，當(dāng)環(huán)境溫度變化超過 0.8℃時(shí)，脈寬會(huì)出現(xiàn)呼吸現(xiàn)象，影響超快激光器的性能，而溫度越穩(wěn)定激光的參數(shù)越好。極測（南京）冷水機(jī)組冷凍水的出水溫度蕞高精度可達(dá)±0.002℃，配置過載保護(hù)、液位監(jiān)測、漏液檢測等功能。

高精密冷凍水機(jī)組是一種專為工業(yè)及特殊環(huán)境設(shè)計(jì)的制冷設(shè)備，通過精確的溫度控制和高效制冷循環(huán)，為高精度制造、數(shù)據(jù)中心、醫(yī)藥生產(chǎn)等領(lǐng)域提供穩(wěn)定可靠的冷卻解決方案。其關(guān)鍵特點(diǎn)在于高能效、低波動(dòng)性及智能化控制，滿足嚴(yán)苛的溫控需求。極測（南京）技術(shù)有限公司采??研溫控技術(shù)，高精密冷凍水機(jī)組冷凍?的出?溫度蕞?精度可達(dá)±0.002℃。高精密冷凍水機(jī)組采用國際有名品牌壓縮機(jī)，配套高質(zhì)量高效能銅管制作的板式換熱器及有名品牌電氣元器件。使機(jī)組具有精度高、體積小、噪音低、壽命長、操作簡便、高效節(jié)能等優(yōu)點(diǎn)。高精密冷凍水機(jī)組采用自主研發(fā)高精度溫度采集模塊，準(zhǔn)確測量實(shí)驗(yàn)艙內(nèi)實(shí)時(shí)的溫濕度數(shù)值并傳輸給控制器，冷凍水閥無級(jí)調(diào)節(jié)、無級(jí)調(diào)節(jié)電加熱器、模擬量控制加濕器可根據(jù)實(shí)際實(shí)驗(yàn)艙需求調(diào)節(jié)輸出功率。專為高精度恒溫恒濕控制設(shè)計(jì)的PID算法，在運(yùn)行過程中進(jìn)行比例、積分、微分的計(jì)算并輸出控制，使實(shí)驗(yàn)室內(nèi)溫度濕度處于穩(wěn)定狀態(tài)，絕dui焓濕量的控制策略，使控制實(shí)驗(yàn)艙內(nèi)濕度控制快速準(zhǔn)確，沒有誤操作誤判斷。光學(xué)儀器行業(yè)通常要求相對(duì)濕度控制在40~60%RH之間，某些情況下可能要求更嚴(yán)格的范圍，如45~55%RH。北京精密溫控場景

半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中使用的許多材料對(duì)濕度也非常敏感。例如，光刻膠在高濕環(huán)境下容易吸濕，影響其固化效果。湖北微電子精密溫控

溫度穩(wěn)定性：光刻機(jī)內(nèi)部的光學(xué)元件（如鏡頭、反射鏡）和精密機(jī)械結(jié)構(gòu)多由對(duì)溫度極其敏感的材料制成。微小的溫度變化會(huì)導(dǎo)致材料熱脹冷縮，引起光學(xué)系統(tǒng)焦距偏移、對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)失準(zhǔn)、機(jī)械平臺(tái)位置漂移，蕞終導(dǎo)致圖形扭曲、套刻誤差增大，良率驟降。整個(gè)光刻區(qū)通常處于恒溫控制狀態(tài)。

濕度穩(wěn)定性：濕度過高可能導(dǎo)致光學(xué)鏡片表面結(jié)露、金屬部件銹蝕、光刻膠特性改變；濕度過低則容易產(chǎn)生靜電，吸附塵埃污染晶圓和設(shè)備。精確的濕度控制對(duì)確保工藝穩(wěn)定性和材料性能至關(guān)重要。3、chao低振動(dòng)：光刻機(jī)在曝光時(shí)需要極高的穩(wěn)定性。任何來自地面（交通、施工、人員走動(dòng)）、設(shè)備自身（空調(diào)、泵）或建筑物（風(fēng)載荷）的振動(dòng)，都會(huì)直接導(dǎo)致光學(xué)系統(tǒng)抖動(dòng)，使投影到硅片上的圖形模糊或位置偏移。因此，光刻機(jī)通常安裝在深達(dá)地下的單獨(dú)地基或高性能主動(dòng)/被動(dòng)隔震平臺(tái)上，甚至采用磁懸浮等技術(shù)進(jìn)行主動(dòng)減振。 湖北微電子精密溫控