極測（南京）技術(shù)有限公司的精密水冷冷凍水機(jī)組融合多項專li技術(shù)，打造超精密溫控關(guān)鍵能力：高精密控溫技術(shù)：動態(tài)平衡的 “神經(jīng)中樞”機(jī)組搭載自主研發(fā)高精度溫度采集模塊，實時捕捉供水溫度數(shù)據(jù)并傳輸至控制器，通過冷凍水閥無級調(diào)節(jié)與電加熱器協(xié)同工作，結(jié)合PID 算法及逐級控溫專li技術(shù)實現(xiàn)溫度偏差的精zhun計算與動態(tài)調(diào)節(jié)。例如，在半導(dǎo)體極紫外光刻工藝中，該技術(shù)可將精密水冷冷凍水機(jī)組的出水溫度波動控制在±0.001℃，滿足納米級制造對溫度穩(wěn)定性的嚴(yán)苛要求。除了溫控精度與潔凈度，系統(tǒng)蕞高能將濕度穩(wěn)定性維持在±0.3%RH，壓力波動控制在±3Pa以內(nèi)。廣東步入式精密溫控

在高duan制造與科研領(lǐng)域，溫度控制的微小偏差正在扼殺技術(shù)突破：半導(dǎo)體光刻環(huán)節(jié)：極紫外（EUV）光刻**求冷卻水溫度波動≤±0.001℃。傳統(tǒng)機(jī)組溫度控制±0.5℃的精度會導(dǎo)致光刻膠形變，造成納米級線寬偏差，單次工藝損失超$50萬。冷凍電鏡（Cryo-EM）成像：生物樣本溫度控制需在-180℃下維持±0.1℃穩(wěn)定性。溫度波動超過閾值會使冰晶破壞蛋白質(zhì)結(jié)構(gòu)，3D重建分辨率從3?劣化至8?，研究成果價值歸零。高功率激光加工：光纖激光器溫度控制漂移＞±0.02℃時，熱透鏡效應(yīng)導(dǎo)致光束焦點偏移20μm，碳鋼切割斷面粗糙度增加300%，廢品率飆升。技術(shù)本質(zhì)：傳統(tǒng)水冷機(jī)組受限于PID控制滯后性、換熱器結(jié)垢衰減、單點故障風(fēng)險，無法滿足超精密場景的溫度控制“零容忍”需求。廣東光學(xué)元件精密溫控智能閉環(huán)監(jiān)控：內(nèi)置自動**保護(hù)系統(tǒng)，異常情況即時響應(yīng)，故障自動處理機(jī)制確保設(shè)備 7x24 小時無憂運行。

打造高“溫度精度”，避免熱致誤差溫度是影響測量精度的首要因素。極測精密環(huán)控柜采用自主研發(fā)的高精度制冷/加熱控制系統(tǒng)，能夠?qū)崿F(xiàn)高溫度精度和穩(wěn)定性。蕞高將內(nèi)部環(huán)境溫度波動控制在極小的范圍內(nèi)（±2mK），確保每一次測量數(shù)據(jù)的重復(fù)性與可靠性。超凈空間，避免微粒污染除了溫控精度，潔凈度同樣至關(guān)重要。懸浮微粒一旦沉積在晶圓或設(shè)備光學(xué)鏡頭上，將造成缺陷或信號干擾。極測環(huán)控柜內(nèi)部可維持蕞高ISO1級的超高潔凈環(huán)境，有效隔絕灰塵、顆粒物等污染物，為半導(dǎo)體量測設(shè)備提供干凈的環(huán)境，保護(hù)昂貴的光學(xué)組件和敏感樣品。智能集成，一站式環(huán)境配套我們的解決方案集成了精密溫控、潔凈控制、濕度控制（蕞高±0.3%RH）、及抗微振功能的綜合環(huán)境配套系統(tǒng)。支持根據(jù)您設(shè)備的特定型號和工藝要求進(jìn)行非標(biāo)定制，匹配不同半導(dǎo)體量測設(shè)備的精密需求。設(shè)備智能管理系統(tǒng)提供7x24小時實時數(shù)據(jù)監(jiān)控與記錄，所有環(huán)境參數(shù)一目了然，數(shù)據(jù)可追溯，為質(zhì)量分析和故障排查提供堅實依據(jù)。

在中國，隨著制造業(yè)的快速發(fā)展和產(chǎn)業(yè)升級，半導(dǎo)體、航空航天、生物醫(yī)藥等領(lǐng)域?qū)Ω呔墉h(huán)境控制設(shè)備的需求急劇增長。據(jù)市場研究機(jī)構(gòu)QYResearch預(yù)測，全球高精密環(huán)境控制設(shè)備市場規(guī)模預(yù)計在未來五年內(nèi)將以年均超過8%的復(fù)合增長率增長，到2028年將達(dá)到數(shù)十億美元規(guī)模。在半導(dǎo)體領(lǐng)域，隨著工藝向更高精度邁進(jìn)，2nm工藝要求溫度控制精度從±0.1℃提升至±2mK，全球晶圓廠每年在溫度控制設(shè)備上的投入超過50億美元；光電光學(xué)領(lǐng)域，高duan光學(xué)顯微鏡、量子光學(xué)實驗等對溫度控制精度要求極高；量子計算領(lǐng)域，量子比特對溫度極為敏感，高精密環(huán)控艙是必需設(shè)備，未來5年需求可能呈指數(shù)級增長。同時，各國產(chǎn)業(yè)政策也推動了高精密環(huán)境控制設(shè)備市場的發(fā)展。美國《芯片與科學(xué)法案》、歐盟“歐洲量子旗艦計劃”、中國《十四五集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展規(guī)劃》等政策的出臺，為行業(yè)發(fā)展提供了良好的政策環(huán)境和資金支持。
我們的解決方案集成了精密溫控、潔凈控制、濕度控制（蕞高±0.3%RH）、及抗微振功能的綜合環(huán)境配套系統(tǒng)。

干涉儀對精密微環(huán)境的嚴(yán)苛需求：干涉儀的納米級測量精度極易受環(huán)境干擾。其基于光的干涉原理工作，通過測量干涉條紋變化精確測定物體長度、角度、表面平整度等參數(shù)，精度可達(dá)納米級別。溫度波動引致光學(xué)元件熱變形，改變光路并偏移干涉條紋；塵埃與濕度波動則加速設(shè)備損耗，干涉儀精密微環(huán)境的穩(wěn)定性直接決定測量成敗。前列的精密溫控能力：干涉儀微環(huán)境穩(wěn)定關(guān)鍵極測精密溫控技術(shù)可實現(xiàn)內(nèi)部溫度穩(wěn)定性關(guān)鍵區(qū)域可達(dá) +/-2mK（靜態(tài)），溫度水平均勻性小于 16mK/m。這一精度確保了在立式干涉儀運行時，光學(xué)元件與機(jī)械結(jié)構(gòu)不受溫度波動干擾，始終維持在蕞佳工作狀態(tài)，為精Zhun測量提供穩(wěn)定基礎(chǔ)。百級潔凈+濕度協(xié)同打造干涉儀長效微環(huán)境系統(tǒng)通過極測精密微環(huán)境控制系統(tǒng)，實現(xiàn)濕度控制與百級以上潔凈，同步解決光學(xué)件霉變、金屬銹蝕及塵埃光路干擾問題，為干涉儀構(gòu)建多參數(shù)協(xié)同精密微環(huán)境。智能精密溫控：干涉儀微環(huán)境運維閉環(huán)實時監(jiān)控干涉儀微環(huán)境溫濕度等數(shù)據(jù)，自動生成運行趨勢曲線，支持故障追溯與質(zhì)量分析。智能防護(hù)模塊保障精密溫控設(shè)備24小時連續(xù)運行，避免測量中斷。穩(wěn)定電子元件內(nèi)部結(jié)構(gòu)，應(yīng)用于超聲波清洗、真空鍍膜等場景，防止清洗劑揮發(fā)并保障鍍膜質(zhì)量。廣東光學(xué)元件精密溫控

堅固美觀：鈑金箱體堅固耐用，外觀顏色可按需定制，完美融入現(xiàn)代化實驗室環(huán)境。廣東步入式精密溫控

半導(dǎo)體制造：光刻工藝的“守護(hù)神”在芯片光刻環(huán)節(jié)，溫度波動Jin0.1℃就足以導(dǎo)致光學(xué)元件熱變形，造成曝光位置漂移。極測精密溫控設(shè)備提供的±0.002℃恒溫環(huán)境，使光刻機(jī)光學(xué)系統(tǒng)保持穩(wěn)定，直接提升芯片良品率。在蝕刻工藝中，溫濕度波動可能引發(fā)刻蝕過度或不足。精密溫控設(shè)備提供的穩(wěn)定環(huán)境保障了刻蝕速率的均勻性，確保芯片電路完整性。航空航天：微米級精度的幕后功臣航空發(fā)動機(jī)渦輪葉片加工中，0.05℃的溫度波動可能導(dǎo)致機(jī)床熱變形，使葉片加工精度不達(dá)標(biāo)。極測精密溫控設(shè)備維持的恒溫環(huán)境，保障了葉片曲面精度和表面質(zhì)量。在航空航天材料測試環(huán)節(jié)，設(shè)備將濕度波動精確控制在±2%RH內(nèi)，滿足極端嚴(yán)苛的測試要求。光學(xué)儀器：純凈與穩(wěn)定的雙重保障在光學(xué)鏡片研磨中，溫度波動會導(dǎo)致研磨盤與鏡片材料熱膨脹系數(shù)差異，影響鏡片曲率精度。恒溫環(huán)境確保研磨精度穩(wěn)定。同時，潔凈環(huán)境防止鏡片表面污染，避免后續(xù)鍍膜工序產(chǎn)生缺陷。新能源電池：水分與溫度的雙重管控在電極涂布工藝中，濕度變化會影響漿料水分含量，導(dǎo)致涂布不均勻。極測精密溫控設(shè)備提供的±0.5%RH濕度穩(wěn)定性，確保電極涂布一致性。在電池組裝環(huán)節(jié)，恒溫環(huán)境避免了不同材料熱脹冷縮差異導(dǎo)致的密封不良問題。廣東步入式精密溫控