極測（南京）技術(shù)有限公司采用相對濕度由外環(huán)境保證，大環(huán)境控制空氣中的絕dui含濕量保持穩(wěn)定，以實現(xiàn)環(huán)境倉內(nèi)部濕度穩(wěn)定性。其超精密環(huán)控艙內(nèi)部構(gòu)造先進，包括分區(qū)送風靜壓腔、分區(qū)回風流道、毫 K 級測溫采集模組 + 1/10Bpt100 矩陣式分布、中低頻吸 / 阻靜音設(shè)計方案等。自研高精密溫控技術(shù)，冷凍水的出水溫度蕞高精度可達 ±0.002℃。
在溫度控制方面，采用大風量小溫差的設(shè)計思想，通過快速循環(huán)空氣過濾并帶走熱量，使溫度波動處于極低數(shù)值，關(guān)鍵區(qū)域可達 ±0.002℃。同時采用多級控溫，將溫度精度逐步提升。針對光路部分設(shè)計密閉防護罩，表面開孔可有效降低發(fā)熱區(qū)域溫度，控制風速。對于局部發(fā)熱區(qū)域，采用局部氣浴進行溫度控制，確保該區(qū)域溫度在一定范圍內(nèi)，且 30s 內(nèi)的溫度變化率不超過 0.03℃。
精密環(huán)控系統(tǒng)安裝后，精度顯著提高。溫度穩(wěn)定性從 ±2℃提升至 ±0.004℃，濕度穩(wěn)定性從 ±10% RH 提升至 ±0.8% RH，潔凈度從 100 級提升至 10 級，噪音值從 70dB 降低至 55dB，測量誤差從 400 降低至 4。
此外，晶圓在高溫環(huán)境下可能會因為熱膨脹而發(fā)生變形，影響成品率。湖北精密溫控棚

高精密環(huán)境控制設(shè)備是一款自主研發(fā)的精密環(huán)境控制產(chǎn)品，主要由設(shè)備主柜體、控制系統(tǒng)、氣流循環(huán)系統(tǒng)、潔凈過濾器、制冷(熱)系統(tǒng)、照明系統(tǒng)、局部氣浴等組成，為光刻機、激光干涉儀等精密測量、精密制造設(shè)備提供招高精度溫濕度、潔凈度的工作環(huán)境。該設(shè)備內(nèi)部通過風機引導氣流以一定的方向循環(huán)，控制系統(tǒng)對循環(huán)氣流的每個環(huán)節(jié)進行處理，從而使柜內(nèi)的溫濕度達到超高的控制精度。溫度穩(wěn)定性蕞高可達±0.002°C，濕度穩(wěn)定性蕞高可達±0.3%RH，潔凈等級蕞高可實現(xiàn) ISO class 1級。山東精密溫控房靈活部署：采用可拆卸鋁合金框架結(jié)構(gòu)，大型設(shè)備現(xiàn)場輕松組裝，大幅節(jié)省安裝成本和時間。

合理的箱體結(jié)構(gòu)有助于提升精密環(huán)控設(shè)備溫濕度的均勻性和控制效果，例如雙層保溫結(jié)構(gòu)、優(yōu)化風道設(shè)計等，能增強精密環(huán)控設(shè)備的保溫性能和控制精度。精密環(huán)控設(shè)備的外殼和內(nèi)部材質(zhì)應具備良好的耐磨性，部分還需要優(yōu)良的保溫性能，以延長精密環(huán)控設(shè)備的使用壽命。極測的精密環(huán)控柜采用合理的柜體結(jié)構(gòu)設(shè)計，主柜體為內(nèi)部精密組件提供穩(wěn)固物理空間，同時采用可拆卸鋁合金框架，方便大型設(shè)備在不同科研場所進行現(xiàn)場組裝，其箱體采用的高質(zhì)量鈑金材質(zhì)堅固耐用。  

極測精密恒溫潔凈棚還配備了智能運維系統(tǒng)。運行中的溫度、濕度等關(guān)鍵數(shù)據(jù)自動生成曲線，操作人員可以直觀地掌握環(huán)境變化情況；數(shù)據(jù)自動保存且可隨時導出，運行狀態(tài)與故障狀態(tài)同步記錄，方便進行數(shù)據(jù)分析、質(zhì)量追溯與故障排查。自動**保護系統(tǒng)更是為設(shè)備的穩(wěn)定運行提供了全天候保障，一旦出現(xiàn)異常，系統(tǒng)將立即啟動保護機制，減少因故障導致的測量中斷和晶圓報廢。 極測先進的環(huán)境控制技術(shù)，為晶圓操作空間樹立了新的行業(yè)標準。精密恒溫潔凈棚不僅解決了半導體制造中環(huán)境控制的難題，更為芯片的高精度制造和研發(fā)提供了堅實的保障。隨著半導體技術(shù)的不斷發(fā)展，對晶圓操作環(huán)境的要求也將越來越高，而極測精密恒溫潔凈棚，必將在未來的產(chǎn)業(yè)發(fā)展中發(fā)揮更加重要的作用，助力我國半導體產(chǎn)業(yè)邁向新的高度。半導體生產(chǎn)設(shè)備精密且昂貴，因此應采取相應的抗振措施。例如，在設(shè)備底部設(shè)置減振支座或彈簧隔振器等。

若需要對溫濕度數(shù)據(jù)進行長期監(jiān)測和分析，選擇具有數(shù)據(jù)記錄與存儲功能的精密環(huán)控設(shè)備很有必要，部分設(shè)備還可通過 USB、以太網(wǎng)等接口將數(shù)據(jù)傳輸?shù)接嬎銠C或云端。極測精密溫控設(shè)備具備強大的數(shù)據(jù)實時記錄查詢功能，實驗過程中的溫度、濕度等關(guān)鍵數(shù)據(jù)自動生成曲線，數(shù)據(jù)自動保存并支持隨時以表格形式導出，設(shè)備的運行狀態(tài)、故障狀態(tài)等信息也同步記錄，方便人員進行全mian的數(shù)據(jù)追溯和深入分析。遠程監(jiān)控與報警功能也很實用，通過手機、電腦等設(shè)備可隨時隨地監(jiān)控精密環(huán)控設(shè)備的運行狀態(tài)，當溫濕度超出設(shè)定范圍或設(shè)備出現(xiàn)故障時，報警功能能及時通知用戶，便于及時處理。極測的設(shè)備一旦出現(xiàn)故障，實時聲光報警提醒并支持遠程協(xié)助故障處理，蕞大程度減少設(shè)備故障對科研進度或生產(chǎn)的影響。例如，光刻工藝中，微小的溫度波動會導致曝光位置的漂移，進而影響線路的精確度。山東精密溫控房

極測（南京）致力于為芯片半導體、精密光學、科研研發(fā)等領(lǐng)域提供定制化的高精密環(huán)境解決方案。湖北精密溫控棚

毫開爾文級控制：精密溫控設(shè)備采用閉環(huán)氣流循環(huán)系統(tǒng)，通過EC風機驅(qū)動氣流以精密算法規(guī)劃的路徑均勻覆蓋設(shè)備內(nèi)部，實現(xiàn)關(guān)鍵區(qū)域溫度波動控制在±2mK（靜態(tài)），溫度均勻性<16mK/m

動態(tài)響應機制：自主研發(fā)的高精密控溫技術(shù)實現(xiàn)0.1%的控制輸出精度，精密溫控設(shè)備對外界環(huán)境變化實現(xiàn)毫秒級響應

潔凈度標準：讓塵埃無處遁形超越傳統(tǒng)的潔凈標準：精密溫控設(shè)備通過多層高效粒子過濾器與動態(tài)氣流管理，工作區(qū)潔凈度達ISOClass3標準及以上，遠超傳統(tǒng)實驗室的ISOClass5標準

微粒攔截：精密溫控設(shè)備可攔截直徑0.3μm的塵埃顆粒，杜絕因微粒污染導致的集成電路短路或光學傳感器失效智能生態(tài)：看得見的穩(wěn)定，可追溯的精zhun

環(huán)境“心電圖”：精密溫控設(shè)備智能監(jiān)控系統(tǒng)自動生成帶時間戳的溫濕度曲線報告，支持一鍵導出，滿足ISO17025等國際標準對數(shù)據(jù)完整性的要求

靜音護航：精密溫控設(shè)備采用EC風機與高效隔音材質(zhì)，運行噪音<45dB，營造舒適工作環(huán)境

靈活架構(gòu)：按需定制的環(huán)境解決方案模塊化設(shè)計：精密溫控設(shè)備采用可拆卸鋁合金框架結(jié)構(gòu)，支持大型設(shè)備現(xiàn)場組裝，突破空間限制

按需定制：從溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度等級到抗微振、防磁、隔音性能，提供全場景非標定制服務 湖北精密溫控棚