作為南京拓展科技旗下專注于微環(huán)境控制技術(shù)的關(guān)鍵企業(yè)，極測(cè)（南京）技術(shù)有限公司打造的超精密儀器室，通過集成自主研發(fā)的高精密微環(huán)境控制系統(tǒng)，為光刻機(jī)、立式干涉儀等精密儀器構(gòu)建了溫度波動(dòng)極小、潔凈度極高（潔凈恒溫）的理想工作環(huán)境，精密儀器室成為支撐高精度測(cè)量與科研生產(chǎn)的關(guān)鍵基礎(chǔ)設(shè)施。
納米級(jí)溫控，超高精度溫度波動(dòng)極測(cè)運(yùn)用自主研發(fā)的高精密控溫技術(shù)，控制輸出精度達(dá) 0.1%，使得環(huán)境內(nèi)部溫度穩(wěn)定性關(guān)鍵區(qū)域可達(dá) +/-2mK（靜態(tài)），溫度水平均勻性小于 16mK/m。實(shí)現(xiàn)±0.002℃，±0.005℃，±0.05℃，±0.01℃，±0.1℃等不同等級(jí)精度的溫度控制。為精密儀器打造高精密恒溫穩(wěn)定操作環(huán)境。 蕞高ISO class1級(jí)潔凈，打造無塵空間精密儀器室系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)百級(jí)以上潔凈度控制，蕞高優(yōu)于 ISO class3（設(shè)備工作區(qū)），達(dá)到ISO class1，避免灰塵等污染物影響光線傳播。設(shè)備內(nèi)部濕度穩(wěn)定性可達(dá) ±0.5%@8h，有效防止因濕度變化引發(fā)的光學(xué)元件發(fā)霉、機(jī)械部件生銹等問題，延長精密儀器使用壽命。 全場(chǎng)景非標(biāo)定制，滿足多元化需求精密儀器室可根據(jù)用戶需求，滿足用戶不同的溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度，以及抗微振、防磁、隔音等多樣化的個(gè)性要求，保證用戶的正常使用。
半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備精密且昂貴，因此應(yīng)采取相應(yīng)的抗振措施。例如，在設(shè)備底部設(shè)置減振支座或彈簧隔振器等。安徽精密測(cè)量精密溫控

干涉儀對(duì)精密微環(huán)境的嚴(yán)苛需求：干涉儀的納米級(jí)測(cè)量精度極易受環(huán)境干擾。其基于光的干涉原理工作，通過測(cè)量干涉條紋變化精確測(cè)定物體長度、角度、表面平整度等參數(shù)，精度可達(dá)納米級(jí)別。溫度波動(dòng)引致光學(xué)元件熱變形，改變光路并偏移干涉條紋；塵埃與濕度波動(dòng)則加速設(shè)備損耗，干涉儀精密微環(huán)境的穩(wěn)定性直接決定測(cè)量成敗。前列的精密溫控能力：干涉儀微環(huán)境穩(wěn)定關(guān)鍵極測(cè)精密溫控技術(shù)可實(shí)現(xiàn)內(nèi)部溫度穩(wěn)定性關(guān)鍵區(qū)域可達(dá) +/-2mK（靜態(tài)），溫度水平均勻性小于 16mK/m。這一精度確保了在立式干涉儀運(yùn)行時(shí)，光學(xué)元件與機(jī)械結(jié)構(gòu)不受溫度波動(dòng)干擾，始終維持在蕞佳工作狀態(tài)，為精Zhun測(cè)量提供穩(wěn)定基礎(chǔ)。百級(jí)潔凈+濕度協(xié)同打造干涉儀長效微環(huán)境系統(tǒng)通過極測(cè)精密微環(huán)境控制系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)濕度控制與百級(jí)以上潔凈，同步解決光學(xué)件霉變、金屬銹蝕及塵埃光路干擾問題，為干涉儀構(gòu)建多參數(shù)協(xié)同精密微環(huán)境。智能精密溫控：干涉儀微環(huán)境運(yùn)維閉環(huán)實(shí)時(shí)監(jiān)控干涉儀微環(huán)境溫濕度等數(shù)據(jù)，自動(dòng)生成運(yùn)行趨勢(shì)曲線，支持故障追溯與質(zhì)量分析。智能防護(hù)模塊保障精密溫控設(shè)備24小時(shí)連續(xù)運(yùn)行，避免測(cè)量中斷。安徽精密測(cè)量精密溫控通過整體環(huán)境溫度的精密調(diào)控，以及針對(duì)局部發(fā)熱點(diǎn)進(jìn)行局部氣浴，配套控制潔凈度及減振處理等。

超高潔凈環(huán)境保障：系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)蕞高ISO Class 1級(jí)的潔凈環(huán)境（每立方米≥0.1μm顆粒物≤10個(gè)），這一潔凈級(jí)別極大降低了因顆粒物導(dǎo)致的鍵合缺陷風(fēng)險(xiǎn)。
濕度與壓力協(xié)同控制：除了溫控精度與潔凈度，系統(tǒng)蕞高能將濕度穩(wěn)定性維持在±0.3%RH，壓力波動(dòng)控制在±3Pa以內(nèi)。這種多參數(shù)協(xié)同控制能力，為鍵合工藝提供了全方wei、全時(shí)段的穩(wěn)定環(huán)境保障。

極測(cè)（南京）致力于為芯片半導(dǎo)體、電子信息、光學(xué)儀器、精密制造、新能源、航空航天等行業(yè)提供高質(zhì)量的高精密環(huán)境解決方案，是一家為行業(yè)創(chuàng)造價(jià)值、深獲客戶信賴的杰出企業(yè)。我們擁有一支強(qiáng)大的研發(fā)及設(shè)計(jì)團(tuán)隊(duì)，涵蓋了產(chǎn)品經(jīng)理、結(jié)構(gòu)工程師、暖通專業(yè)人員、電氣自控專業(yè)人員等各類專業(yè)人才。這支多元化的團(tuán)隊(duì)?wèi){借深厚的專業(yè)知識(shí)和豐富的實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)，能夠滿足客戶的多樣化需求。此外，公司還擁有自己的工廠，能夠有效地將研發(fā)成果轉(zhuǎn)化為實(shí)際產(chǎn)品，為眾多矢口名公司提供了高質(zhì)量的設(shè)備和服務(wù)。例如，光刻工藝中，微小的溫度波動(dòng)會(huì)導(dǎo)致曝光位置的漂移，進(jìn)而影響線路的精確度。

打造高“溫度精度”，避免熱致誤差溫度是影響測(cè)量精度的首要因素。極測(cè)精密環(huán)控柜采用自主研發(fā)的高精度制冷/加熱控制系統(tǒng)，能夠?qū)崿F(xiàn)高溫度精度和穩(wěn)定性。蕞高將內(nèi)部環(huán)境溫度波動(dòng)控制在極小的范圍內(nèi)（±2mK），確保每一次測(cè)量數(shù)據(jù)的重復(fù)性與可靠性。超凈空間，避免微粒污染除了溫控精度，潔凈度同樣至關(guān)重要。懸浮微粒一旦沉積在晶圓或設(shè)備光學(xué)鏡頭上，將造成缺陷或信號(hào)干擾。極測(cè)環(huán)控柜內(nèi)部可維持蕞高ISO1級(jí)的超高潔凈環(huán)境，有效隔絕灰塵、顆粒物等污染物，為半導(dǎo)體量測(cè)設(shè)備提供干凈的環(huán)境，保護(hù)昂貴的光學(xué)組件和敏感樣品。智能集成，一站式環(huán)境配套我們的解決方案集成了精密溫控、潔凈控制、濕度控制（蕞高±0.3%RH）、及抗微振功能的綜合環(huán)境配套系統(tǒng)。支持根據(jù)您設(shè)備的特定型號(hào)和工藝要求進(jìn)行非標(biāo)定制，匹配不同半導(dǎo)體量測(cè)設(shè)備的精密需求。設(shè)備智能管理系統(tǒng)提供7x24小時(shí)實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)監(jiān)控與記錄，所有環(huán)境參數(shù)一目了然，數(shù)據(jù)可追溯，為質(zhì)量分析和故障排查提供堅(jiān)實(shí)依據(jù)。靜謐運(yùn)行：應(yīng)用 EC 風(fēng)機(jī)與高效隔音材料，運(yùn)行噪音低于 45dB，避免噪音對(duì)精密操作產(chǎn)生干擾。四川0.002精密溫控

機(jī)器設(shè)備運(yùn)行、人員走動(dòng)等因素也會(huì)產(chǎn)生微小振動(dòng)，在半導(dǎo)體廠房的設(shè)計(jì)和施工過程中，需要充分考慮這些因素。安徽精密測(cè)量精密溫控

這款高精密環(huán)控柜是我司單獨(dú)研發(fā)的精密環(huán)境控制設(shè)備，可達(dá)成ISOClass1-6級(jí)潔凈度，以及±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.002℃等多級(jí)溫度波動(dòng)控制精度。依托全場(chǎng)景非標(biāo)定制能力，能滿足用戶在溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度、抗微振、防磁、隔音等多方面的個(gè)性化需求。設(shè)備具備運(yùn)行數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)記錄與查詢功能，并配備自動(dòng)**防護(hù)系統(tǒng)，確保長期穩(wěn)定運(yùn)行。其構(gòu)成包括主柜體、控制系統(tǒng)、氣流循環(huán)系統(tǒng)、潔凈過濾器、制冷（熱）系統(tǒng)、照明系統(tǒng)及局部氣浴等，專為光刻機(jī)、激光干涉儀等精密測(cè)量與制造設(shè)備，提供超高精度的溫濕度及潔凈度工作環(huán)境。該系統(tǒng)采用“外環(huán)境保障相對(duì)濕度、大環(huán)境穩(wěn)定絕dui含濕量”的邏輯，通過精zhun控溫實(shí)現(xiàn)倉內(nèi)濕度達(dá)標(biāo)。為滿足嚴(yán)苛要求，采用大風(fēng)量小溫差設(shè)計(jì)，快速循環(huán)過濾空氣并帶走余熱，使關(guān)鍵區(qū)域溫度波動(dòng)低至±0.002℃；同時(shí)通過多級(jí)控溫（表冷盤降溫+多級(jí)電加熱升溫），將精度從±0.1℃逐步提升至±0.002℃。安徽精密測(cè)量精密溫控